● 石英ガラスの紹介

溶融石英ガラスの製造方法には、電気溶融、火炎溶融、プラズマ溶融、電気アーク溶融があります。 原料は、天然石英砂SiO2と合成化学四塩化ケイ素（SiCl4）です。 製造方法と原料の組み合わせは、当社の石英ガラスの主な6種類を構成します。EN（電気溶融天然石英）シリーズ。 FN（火炎溶融天然石英）シリーズ; PN（プラズマ溶融天然石英）シリーズ; FS（火炎溶融合成石英）シリーズ; PS（プラズマ溶融合成石英）シリーズ; AN（電気アーク溶融天然石英）シリーズ.

1. 電気溶融

電気融合は、石英ガラスの製造に最も一般的に使用される溶解プロセスです。このプロセスでは、抵抗ヒーターを使用して天然の石英砂を石英ガラス管、ロッド、ブロックなどに溶かします。電気溶融には、連続溶融とバッチ溶融の2つの方法があります。連続プロセスでは、電気ヒーター要素に囲まれたタングステンるつぼの上部に石英砂が連続的に注がれます。内側のるつぼは、シリカが内部で溶けている間、シリカが高融点金属と反応するのを防ぐ中性またはわずかに減少した雰囲気に維持されます。溶融した石英は、るつぼの底の成形部分から出て、チューブ、ロッドなどに成形されます。 OHはアニーリングにより低減できます。バッチ融合プロセスでは、数トンの原料が、チューブ、ロッドなどを製造するためのグラファイトヒーター要素を含む耐火性真空チャンバー内に配置されます。 OHは通常2ppm未満です。低OHにより、電気溶融石英ガラスの赤外線透過率が高くなります。電気溶融石英ガラスは通常、ガラス表面に特定の泡と描画線があります。

2. 火炎溶融

火炎融合は2段階のプロセスです。 最初のプロセスは、天然の石英砂または合成SiC14を水素/酸素（H2 / O2）炎で溶かし、固体の丸いインゴットにします。 2番目のプロセスは、インゴットをさまざまな形状と寸法にさらに成形することです。 火炎溶融石英ガラスには、H2 / O2とシリカ原料との直接接触の結果として、大量のヒドロキシル（OH）が含まれています。 このOH含有量はアニーリングでは低減できず、その存在は粘度と赤外線透過率を低下させます。 火炎溶融石英には描画線がなく、気泡含有量が非常に少ない。

3. プラズマ法

プラズマ核融合は2段階のプロセスです。 最初のプロセスは、天然の石英砂または合成SiCl4をプラズマ炎で溶かして、固体の丸いインゴットにします。 2番目のプロセスは、インゴットをさまざまな形状と寸法にさらに成形することです。 プラズマ溶融石英は、通常5ppm未満の低OHであるため、良好な赤外線透過率があります。 プラズマ溶融石英は、気泡含有量が非常に低く、描画線がありません。

4. アーク溶融不透明るつぼ

電気アーク融合は、単結晶シリコンインゴットの成長に使用されるるつぼの製造に一般的に使用されるプロセスです。